哈濱工業(yè)大學(xué)150001李文卓趙萬生勝利石油學(xué)校257000于云霞外生產(chǎn)廠家和研究機(jī)構(gòu)的已經(jīng)商品化和正在研制中的幾種微細(xì)電火花加工機(jī)床的構(gòu)成功能技長要點(diǎn)和典型應(yīng)用，希望能為從事徵細(xì)電火花加工機(jī)床的研制者提供有價值的信息。

幾有叵大應(yīng)用前設(shè)的微機(jī)電系統(tǒng)的制造設(shè)備目前在國際上有兩大潮流技術(shù)，種是由半導(dǎo)體制造工藝衍生而來的硅平面工藝技術(shù)，其典型代有10人選擇性蝕刻等，這種技術(shù)適合于將微傳感器微執(zhí)行器和微信息處理器集于個微小單元，非常適合于大批生產(chǎn)；3種是由傳統(tǒng)加技術(shù)包括特種加技術(shù)衍生而來的；加1技術(shù)，其典型代技術(shù)可以加工硅平血工藝技術(shù)準(zhǔn)以加的各種復(fù)雜維曲面，并可加工金屬材料和各種難加工材料，尤其適合于中小批量零件的個性加工眾多發(fā)達(dá)國家采取兩者并重的策略，以充分發(fā)揮各自的優(yōu)點(diǎn)作為微機(jī)電系統(tǒng)制造技術(shù)的個重要分支，新甩微細(xì)電火花加工機(jī)床的研制也就受到廣泛的重視目前，發(fā)達(dá)國家的微細(xì)電火花機(jī)床有些己進(jìn)工業(yè)應(yīng)用和商業(yè)銷售階段，如日本松下精機(jī)瑞士夏米芯美，威廉斯等公司都有較成熟的產(chǎn)品，其中以1木松1精機(jī)的產(chǎn)品性能優(yōu)越。該產(chǎn)品能穩(wěn)定加工只少，1的小孔2，代著這領(lǐng)域的前沿，但其價格非常昂貴，大約需要20萬美兀左右，且被列為對我國禁運(yùn)產(chǎn)品。另外日本東京大學(xué)的增澤隆久豐田工業(yè)大學(xué)的毛利尚武等學(xué)者正在研制開發(fā)中的系統(tǒng)或裝置也都具有很高的水平，為該研究方向上的主要代國內(nèi)對微細(xì)電火花的研究，主要是結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)的需要，集中在微孔加工上。比如噴汕嘴電火花小孔加工等大多沒進(jìn)真1的工業(yè)應(yīng)用和商業(yè)銷售階段在這方面南京航空航天大學(xué)起步較早，研，也比較系統(tǒng)。首次在，內(nèi)加工出孔徑只1少1深徑比為31的微細(xì)孔4；沾華大學(xué)研制了種采用蠕動式微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的微細(xì)電火花加工機(jī)床。加工出接驅(qū)動裝置3！在當(dāng)今實(shí)現(xiàn)我國工業(yè)現(xiàn)代化的過程中，盡快研制具有獨(dú)立自主知識產(chǎn)權(quán)的微細(xì)電火花加1機(jī)濃己成為我，微細(xì)制造領(lǐng)域的當(dāng)務(wù)之總，微細(xì)電火花加工的特點(diǎn)及要求微小零件的尺寸小，剛度低，很難用傳統(tǒng)加工方法加工，而在電火花加工中，電極與工件的宏觀作用力很小，大約在數(shù)百毫牛到數(shù)十毫牛，之間，若再配以精密的伺服進(jìn)給機(jī)構(gòu)和微能放電電源，電火花加工非常適合微細(xì)加1微細(xì)電火花加工技術(shù)能在保證零件加1梢度的，時，還具有更高的加工效率，這是其他加工方法如超聲加工等所不可比擬的為進(jìn)步提高零件的加工精度，類似于加工中心的精密多功能微細(xì)電火花加工機(jī)床受到青，在這種多功能電火花加1機(jī)床上，從微細(xì)電極的制作到微細(xì)零件的加工，電極只需次裝夾，可減小多次裝夾電極所帶來的安裝誤差，并且可通過，電極的重新加工來修正機(jī)床的系統(tǒng)誤差和被損耗電極的形狀誤差，從而提高零件的加工精度還可實(shí)現(xiàn)電火花線電極磨削加工電火花復(fù)雜形狀微細(xì)孔加工及屯火花銑削加工等功能，配以。多軸聯(lián)動技術(shù)。即可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的微細(xì)電火花維型體加衛(wèi)因微細(xì)零件重新裝夾定位困難，還可根據(jù)工作需要，將電化學(xué)加工電鑄加工甚至微細(xì)切削力工微機(jī)電系統(tǒng)的在線測量裝配調(diào)試等集于體，從而構(gòu)成個微機(jī)電系統(tǒng)的柔性制造中心下面介紹幾種典型微細(xì)電火花加4幾床的構(gòu)成功能技術(shù)要點(diǎn)和加實(shí)例日本松下精機(jī)生產(chǎn)的郎挪是種高精度的微細(xì)電火花加工機(jī)床6，也是目前商業(yè)銷售中精度較高的微細(xì)電火花機(jī)床，該機(jī)床的實(shí)物照片如爾濱工業(yè)大學(xué)特種加工研宄所也研制了多種電極直元兩部分

為便于觀察微加工狀態(tài)，該機(jī)床配有顯微鏡。

此外，還配有線電極磨削單元。線電極磨削呢山加的作意3所七10冗82的加工小單元是由可2向移動的加工頭和可1向和方向移動工作臺組成。其卞耍性能指標(biāo)1衣；82認(rèn)主加工單元性能指標(biāo)700825主軸電機(jī)1電機(jī)無編碼盤重量18找由承V陶瓷軸承加工箱尺寸mml42尤行程范圍2001打亍程范圍50n yiifL顯微鏡范圍傳感恐加廠主單元0控制肀元閣2松082機(jī)床內(nèi)部構(gòu)成182你的屯火花放電電源采用只0微能弛張式電源其最小脈沖能從為犯是傳統(tǒng)電火花加工電源能量的0到00為了減少寄生電容對加工過程的影響。機(jī)床采目陶瓷村料做主要零件在182可進(jìn)行電火花鉆酏銑酏磨削線電極磨削成型加工等多種電火花加工，可穩(wěn)定地加工出13的微細(xì)軸和1打的微小孔，面粗敢可達(dá)及，1私1如微孔和微縫的樣件照片。該機(jī)床可用于各種微小軸維曲面型腔的加工，適用于微加速度計(jì)微力傳感器微噴頭等微機(jī)電系統(tǒng)的研制生產(chǎn)7！

掃描式微電火花加工機(jī)床武3人開發(fā)的種新型微電火芘加工機(jī)床照片由度和高剛度等特點(diǎn)，在此被用作微電火花加工終端馳動器。使之產(chǎn)生掃描運(yùn)動。

舊5描式機(jī)床照幾16掃描式機(jī)床構(gòu)成7為該機(jī)床的加工意，8是用該機(jī)床加工的微型十字槽和圓形槽微電火花加工電極具有3個自由度，即沿7方向的2個傾斜運(yùn)動和1個沿2了向的移動，配各種形式和各種自由度的工作臺。即可加工各種復(fù)雜微曲面機(jī)床主軸由1個駐板個臺1個收緊桿和3個蜢動裝置組成。蠕動裝聊置基板和平臺之間。并分，尚聯(lián)其上。通過調(diào)節(jié)蜢動裝置的長度即可實(shí)現(xiàn)平臺的2向移動和義。7向的傾斜。電極的進(jìn)給回退運(yùn)動即是由這3個蠕動裝置的伸縮復(fù)合而成整個七軸的尺寸為1821心228.重6平臺的響應(yīng)頻率由壓電陶瓷決定。可以達(dá)到200.

位置誤差小于3少1和0.04！

多功能微細(xì)電火花加工中心技術(shù)人學(xué)生產(chǎn)技術(shù)研允中心咖丁6，0在疑米爾公司的執(zhí)山，1 2000軸線切割機(jī)床的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成的總的來說，與發(fā)達(dá)國家的差距仍然是很大的，尤其是在技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化方面。因此面對市場需求，我國科技工作者應(yīng)針對性地深入研究與市場相適應(yīng)的技農(nóng)且在微細(xì)電火花加工的工業(yè)應(yīng)用方面加快步伐，有針對性地深入研宄微細(xì)電火花加工技術(shù)與微喂機(jī)構(gòu)微型傳感器微電子技米微型醫(yī)療器槭微型執(zhí)行器微機(jī)器人等微型機(jī)電系統(tǒng)方而相適應(yīng)的應(yīng)用技術(shù)。使其正成為推動生產(chǎn)力發(fā)展的動力其說理是將1個可回轉(zhuǎn)主軸頭安裝在線切割機(jī)床的上導(dǎo)絲頭上，將1個微線電極磨削裝置安裝在機(jī)床的工作臺上，而且該機(jī)床還在工件的夾緊系統(tǒng)安裝了回轉(zhuǎn)裝置，以便加工多種復(fù)雜型面該加工中心能實(shí)現(xiàn)微線10加工中心的微切割實(shí)例切割微型腔加工微線電極磨削微電火花鉆削和統(tǒng)削客種微電火花加，由于該加中心功能眾多，因此非常適合加工各種復(fù)雜的型面10是該加工中心在，1厚的薄板上加工出齒厚5砍1的微齒結(jié)構(gòu)是加工出的各種微型結(jié)構(gòu)實(shí)例。